Технологии изготовления микроболометрических фотоприемных устройств дальнего ИК-диапазона
В рамках проекта разрабатываются технологии изготовления микроболометрических фотоприемныхустройств дальнего ИК-диапазона мегапиксельногоуровня с возможностью поляризационной чувствительности, в том числе:
Внедрение созданных в рамках проекта технологий в промышленную эксплуатацию запланировано на серийном производстве неохлаждаемых мегапиксельных фотоприемных устройств ИК-диапазона, создаваемом ООО «Маппер» и АО «ОКБ-Астрон» (холдинг АО «Швабе») при поддержке Минпромторга России.
- формирования массива микроболометров (включая терморезистивный материал и поляризационные фильтры);
- производства микросхем считывателей на отечественной фабрике;
- сборки матриц в вакуумплотныйкорпус.
Внедрение созданных в рамках проекта технологий в промышленную эксплуатацию запланировано на серийном производстве неохлаждаемых мегапиксельных фотоприемных устройств ИК-диапазона, создаваемом ООО «Маппер» и АО «ОКБ-Астрон» (холдинг АО «Швабе») при поддержке Минпромторга России.